光學(xué)3D表面輪廓儀 SuperView W1
非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效
CHOTEST - √中國總代理
- √包郵
- √增值稅票
- √7*15服務(wù)
一、 產(chǎn)品描述
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國防軍工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
二、 產(chǎn)品功能
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動(dòng)對焦、自動(dòng)測量、自動(dòng)多區(qū)域測量、自動(dòng)拼接測量等自動(dòng)化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。
三、 應(yīng)用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
應(yīng)用范例：
半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC
3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差
超精密加工.光學(xué)透鏡
精密加工.發(fā)動(dòng)機(jī)葉片
精密加工.金字塔型金剛石磁頭
標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺(tái)階、多刻線粗糙度
四、性能特色
1.高精度、高重復(fù)性
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國防軍工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
二、 產(chǎn)品功能
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動(dòng)對焦、自動(dòng)測量、自動(dòng)多區(qū)域測量、自動(dòng)拼接測量等自動(dòng)化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。
三、 應(yīng)用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
應(yīng)用范例：
|
半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC |
|
|
|
|
|
3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差 |
|
|
|
|
|
超精密加工.光學(xué)透鏡 |
精密加工.發(fā)動(dòng)機(jī)葉片 |
|
|
|
|
精密加工.金字塔型金剛石磁頭 |
標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺(tái)階、多刻線粗糙度 |
|
|
|
1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高；
2）獨(dú)特的隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng)，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得極高的測量重復(fù)性。
2.一體化操作的測量分析軟件
1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能；
2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程；
3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測量與分析過程；
4）幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；
5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能；
6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。
3.精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
4.雙重防撞保護(hù)措施
除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，最大限度的保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。
5.雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī)，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。
五、應(yīng)用案例：
|
復(fù)合材料測量 |
西華大學(xué)水機(jī)葉片磨損檢測 |
|
清華大學(xué)超光滑陶瓷樣件測量 |
北航超疏水表面形貌檢測 |
六、樣品測試報(bào)告：
點(diǎn)擊表格內(nèi)圖片或文字可查看詳細(xì)報(bào)告數(shù)據(jù)
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
七、技術(shù)指標(biāo)：
1.技術(shù)規(guī)格表
|
型號 |
W1 |
W1-Pro |
||
|
光源 |
白光LED |
|||
|
影像系統(tǒng) |
1024×1024 |
|||
|
干涉物鏡 |
10×（2.5×，5×， 20×，50×，100×可選） |
|||
|
光學(xué)ZOOM |
0.5×（0.75×，1×可選） |
|||
|
標(biāo)準(zhǔn)視場 |
0.98×0.98㎜ |
|||
|
最大視場 |
6×6㎜ |
|||
|
物鏡塔臺(tái) |
3孔手動(dòng)（5孔電動(dòng)可選） |
|||
|
XY位移平臺(tái) |
尺寸 |
320×200㎜ |
300×300mm |
|
|
移動(dòng)范圍 |
140×100㎜ |
200×200mm |
||
|
負(fù)載 |
10kg |
|||
|
控制方式 |
電動(dòng) |
|||
|
水平調(diào)整 |
±4.5°手動(dòng) |
|||
|
Z軸 聚焦 |
行程 |
100㎜ |
||
|
控制方式 |
電動(dòng) |
|||
|
Z向掃描范圍 |
10 ㎜ |
|||
|
Z向分辨率 |
0.1nm |
|||
|
可測樣品反射率 |
0.05%~100% |
|||
|
粗糙度RMS重復(fù)性 |
0.005nm |
|||
|
臺(tái)階測量 |
準(zhǔn)確度 |
0.7% |
||
|
重復(fù)性 |
0.1% 1σ |
|||
|
儀器尺寸 |
900×700×604㎜ |
900×700×1500㎜ |
||
|
儀器主機(jī)重量 |
＜150㎏ |
＜160㎏ |
||
|
使用環(huán)境要求 |
無強(qiáng)磁場，無腐蝕氣體 工作溫度：15℃ ~30℃，溫度梯度 < 1℃/15分鐘 相對濕度：5%-95%RH，無凝露 環(huán)境振動(dòng)：VC-C或更優(yōu) |
|||
注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國際標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測量Sa為0.2nm硅晶片Sq參數(shù)獲得；
臺(tái)階高性能參數(shù)為依據(jù)ISO 5436-1:2000標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測量4.7μm臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)塊獲得。
光學(xué)3D表面輪廓儀 SuperView W1規(guī)格參數(shù)Specs
|
型號 |
W1 |
W1-Pro |
||
|
光源 |
白光LED |
|||
|
影像系統(tǒng) |
1024×1024 |
|||
|
干涉物鏡 |
10×（2.5×，5×， 20×，50×，100×可選） |
|||
|
光學(xué)ZOOM |
0.5×（0.75×，1×可選） |
|||
|
標(biāo)準(zhǔn)視場 |
0.98×0.98㎜ |
|||
|
最大視場 |
6×6㎜ |
|||
|
物鏡塔臺(tái) |
3孔手動(dòng)（5孔電動(dòng)可選） |
|||
|
XY位移平臺(tái) |
尺寸 |
320×200㎜ |
300×300mm |
|
|
移動(dòng)范圍 |
140×100㎜ |
200×200mm |
||
|
負(fù)載 |
10kg |
|||
|
控制方式 |
電動(dòng) |
|||
|
水平調(diào)整 |
±4.5°手動(dòng) |
|||
|
Z軸 聚焦 |
行程 |
100㎜ |
||
|
控制方式 |
電動(dòng) |
|||
|
Z向掃描范圍 |
10 ㎜ |
|||
|
Z向分辨率 |
0.1nm |
|||
|
可測樣品反射率 |
0.05%~100% |
|||
|
粗糙度RMS重復(fù)性 |
0.005nm |
|||
|
臺(tái)階測量 |
準(zhǔn)確度 |
0.7% |
||
|
重復(fù)性 |
0.1% 1σ |
|||
|
儀器尺寸 |
900×700×604㎜ |
900×700×1500㎜ |
||
|
儀器主機(jī)重量 |
＜150㎏ |
＜160㎏ |
||
|
使用環(huán)境要求 |
無強(qiáng)磁場，無腐蝕氣體 工作溫度：15℃ ~30℃，溫度梯度 < 1℃/15分鐘 相對濕度：5%-95%RH，無凝露 環(huán)境振動(dòng)：VC-C或更優(yōu) |
|||
注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國際標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測量Sa為0.2nm硅晶片Sq參數(shù)獲得；
臺(tái)階高性能參數(shù)為依據(jù)ISO 5436-1:2000標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測量4.7μm臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)塊獲得。
光學(xué)3D表面輪廓儀 SuperView W1包裝清單Detail
光學(xué)3D表面輪廓儀 SuperView W1售后保障Terms
|
名稱 |
貨號 |
保修天數(shù) |
說明 |
|
光學(xué)3D表面輪廓儀 |
SuperView W1 |
一年 |
/
|
光學(xué)3D表面輪廓儀 SuperView W1評價(jià)曬單Comment
暫無相關(guān)評論
