光學(xué)3D表面輪廓儀 SuperView W1產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)
| 品牌 | CHOTEST | 型號(hào) | SuperView W1 |
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| 產(chǎn)地 | 中國(guó) | 品名 | 光學(xué)3D表面輪廓儀 SuperView W1 |
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型號(hào) |
W1 |
W1-Pro |
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光源 |
白光LED |
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影像系統(tǒng) |
1024×1024 |
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干涉物鏡 |
10×（2.5×，5×， 20×，50×，100×可選） |
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光學(xué)ZOOM |
0.5×（0.75×，1×可選） |
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標(biāo)準(zhǔn)視場(chǎng) |
0.98×0.98㎜ |
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最大視場(chǎng) |
6×6㎜ |
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物鏡塔臺(tái) |
3孔手動(dòng)（5孔電動(dòng)可選） |
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XY位移平臺(tái) |
尺寸 |
320×200㎜ |
300×300mm |
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移動(dòng)范圍 |
140×100㎜ |
200×200mm |
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負(fù)載 |
10kg |
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控制方式 |
電動(dòng) |
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水平調(diào)整 |
±4.5°手動(dòng) |
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Z軸 聚焦 |
行程 |
100㎜ |
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控制方式 |
電動(dòng) |
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Z向掃描范圍 |
10 ㎜ |
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Z向分辨率 |
0.1nm |
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可測(cè)樣品反射率 |
0.05%~100% |
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粗糙度RMS重復(fù)性 |
0.005nm |
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臺(tái)階測(cè)量 |
準(zhǔn)確度 |
0.7% |
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重復(fù)性 |
0.1% 1σ |
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儀器尺寸 |
900×700×604㎜ |
900×700×1500㎜ |
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儀器主機(jī)重量 |
＜150㎏ |
＜160㎏ |
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使用環(huán)境要求 |
無(wú)強(qiáng)磁場(chǎng)，無(wú)腐蝕氣體 工作溫度：15℃ ~30℃，溫度梯度 < 1℃/15分鐘 相對(duì)濕度：5%-95%RH，無(wú)凝露 環(huán)境振動(dòng)：VC-C或更優(yōu) |
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注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測(cè)量Sa為0.2nm硅晶片Sq參數(shù)獲得；
臺(tái)階高性能參數(shù)為依據(jù)ISO 5436-1:2000標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測(cè)量4.7μm臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)塊獲得。
注意：除【光學(xué)3D表面輪廓儀 SuperView W1】外，如有其他型號(hào)規(guī)格參數(shù)僅作對(duì)比參考。
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名稱 |
貨號(hào) |
保修天數(shù) |
說(shuō)明 |
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光學(xué)3D表面輪廓儀 |
SuperView W1 |
一年 |
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